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シーズヒーターを熱源とし、アルミ合金の素材を使用して製作された一体型のホットプレートアルミ鋳込みヒーターです。
ヒーターと本体が完全に一体化しているため、挟み込み方式やカートリッジヒーター挿入方式などで心配されるスキマからの空焚きの心配がありません。
ホットプレートの表面粗度、平面度、平行度、取付穴などが自由かつ精密に機械加工ができ、精度の高い機器にインプラントすることが可能です。
ホットプレート表面の温度分布は高温時でも良好で、さらに各種表面処理をすることにより、耐腐食性に優れた表面を形成できます。
当社ホットプレートは、サイズ、定格電圧、容量、エレメント数、穴加工など、お客様のご要望に沿った仕様で製作いたします。
特に純アルミニウムを選択した場合、不要なガスの発生が無いので、デリケートな半導体/液晶の加熱に最適です。
温度分布を均一化しやすい構造のため、LCDパネル等大型化する製品の加熱に最適です。
※サイズ
第8世代まで対応(2007年3月現在)
※表面処理:
硬質アルマイト処理・カニゼンメッキ処理・セラミック溶射処理・
タフラム処理・遠赤外線塗料焼付処理・硬質クロームメッキ処理・
テフロンコーティング処理・セラミックコーティング処理など

ガラス基板乾燥用ベーク炉
成膜工程用焼成炉